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常州瑞择微电子科技有限公司
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常州瑞择微电子科技有限公司

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常州瑞择微电子科技有限公司(REC)成立于2008年,主要研发、生产、销售光掩模工艺设备,是江苏省高新技术企业。
 
REC拥有完整的自动化设备研发和加工能力,设计团队包括液路工艺、机械、电气、自动化和控制软件等设计人员。公司加工车间配置有多台普通和数字机械加工设备,基本满足公司部件加工需求。此外,公司还搭建有10万级洁净厂房,配备了18兆欧纯水系统,用于公司设备的组装调试和洁净部件的生产加工。
 
2008年底,由REC自主研发的“130纳米级光掩模清洗设备”,打破了国外该领域的垄断,填补了国内空白,各项检测指标均已达到或超过国际领先水平,该设备被评为“江苏省首台(套)重大装备产品”。2013年10月,由REC承担的国家科技重大专项(02专项)所研发生产的“90纳米光掩模清洗设备”成功进入终端客户生产线。
 
公司发展至今,已研发、生产、销售多台光掩模湿法工艺设备,分别应用于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、无锡华润微电子有限公司、中国科学技术大学、深圳清溢光电股份有限公司等国内重要集成电路制造企事业的生产线,并受到业内一致好评。此外,REC还成功研发了CO2发泡机、全氟泵、在线红外加热器等部件,广泛应用于硅晶圆、LED、MEMS、光伏、平板显示等行业。
 
REC在自主研发的过程中,已获得自主知识产权33项,先后承担了部、省、市、区各级的科技研发项目,并与中国科学院微电子研究所、无锡华润微电子掩模工厂、中芯国际、韩国海力士、以色列CI-SEMI、芬兰Picosun等多家国内外企事业单位合作,共同研究开发光掩模清洗新工艺设备以及微纳加工工艺设备。
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